낮은 결함 밀도를 갖는 Boron diffused layer를 형성하기 위한 확산, 표면처리 및 Gettering 공정에 관한 연구

한상욱 ,  심경배 ,  박수영 외 3명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2017 .05

STUDY ON DIFFUSION, SURFACE TREATMENT AND GETTERING PROCESS TO FORM BORON DIFFUSED LAYER WITH LOW DEFECT DENSITY

Dong Gi SHIN ,  Kyoung Soo JANG ,  Hee Jun PARK 외 2명

AFORE

2017 .11

NEG(Non Evaporator Getter)증착 성능 향상을 위한 전자석 코일 설계에 관한 연구

박종빈 ,  이호준 ,  이동우 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2024 .07

Al-1%Si/SiO₂/PSG 적층 박막에서 potassium 게터링에 관한 연구

김진영

한국표면공학회지

2015 .10

SIMS를 이용한 SiO₂/PSG/SiO₂/Al-1%Si 적층 박막내의 K 게터링 분석

김진영

한국표면공학회지

2017 .06

A Study on the properties of silicon nitride thin films deposited with a diiodosilane (SiH₂I₂) precursor

Baek-Ju Lee ,  Dong-Won Seo ,  Jae-Wook Choi

대한전자공학회 학술대회

2021 .06

Current Status of Thin Film Silicon Solar Cells for High Efficiency

Chonghoon Shin ,  Youn-Jung Lee ,  Jinjoo Pa 외 7명

Current Photovoltaic Research

2017 .12

Light-emitting mechanism varying in Si-rich-SiN_x controlled by film's composition

To ,  chynska ,  Tetyana V. 외 8명

Advances in nano research

2017 .01

Integrated Process Sequence of Epitaxy Silicon Wafer Production Using Plasma-Enhanced CVD

Ji-Eun Hong ,  Yonghwan Lee ,  Sung-In Mo 외 4명

AFORE

2023 .11

NEG(Non Evaporator Getter) 증착 성능향상을 위한 솔레노이드 코일 설계에 관한 연구

박종빈 ,  정형근

전기학회논문지

2024 .10

CONTROL OF SIZE AND DISTRIBUTION OF SILICON QUANTUM DOTS IN SILICON DIELECTRICS FOR SOLAR CELL APPLICATIONS : A REVIEW

Subhajit Dutta ,  Young Hyun Cho ,  Kuma 외 4명

AFORE

2017 .11

다양한 환경 조건에서 규소 화합물 세라믹의 레이저 빔 가공 특성

정형균 ,  주종남

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .05

잔류카본 제거공정에 대한 CFD 해석

송민정 ,  오세천

환경에너지공학

2021 .12

Silicon nitride가 코팅된 탄소섬유 나노복합소재의 제조 및 열적 특성

김병주 ,  김현혜 ,  송범근

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2016 .11

XPS와 SIMS를 이용한 PSG/SiO₂/Al-1%Si 적층 박막내의 Na 게터링 분석

김진영

한국표면공학회지

2016 .10

SVM 기반 실리콘 웨이퍼의 마이크로크랙 분류에 관한 연구

김상연 ,  김경범

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2015 .10

Extraction of Effective Charge Diffusivity in the Charge Trapping Layer of SONOS Flash Memory

성재영 ,  정준교 ,  남기령 외 1명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2021 .08

Morphology and Thermal Conductivity of Polyacrylate Composites Containing Aluminum Nitride, Silicon Carbide and Boron Nitride

Sang Ha Pa ,  k ,  Byung Gil Min 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2016 .10

Effect of hydrofluoric acid chemical corrosion on the grinding of silicon nitride ceramic ball

Ziqiang Ge ,  Songhua Lia ,  Yuhou Wu 외 3명

Journal of Ceramic Processing Research

2022 .10

Design of Gaussian Phase-shifting Algorithm for Surface Profile Measurement of a Silicon Wafer

J. C. Bae ,  J. Y. Yun ,  H. Kim 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .05