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Automated System for Cleaning Semiconductor Wafer
한국정보기술학회논문지
2024 .09
Cu CMP에서 웨이퍼 크기에 따른 스프레이 노즐의 효과
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
박판 웨이퍼의 적재 시 손상 최소화 기술
한국산학기술학회 논문지
2021 .01
노즐 스프레이를 이용한 인공 심혈관 모델 시스템 개발
한국가시화정보학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
웨이퍼 배치 구조를 갖는 CVD 챔버 내부의 유동 분석
대한기계학회 논문집 B권
2018 .01
과산화수소 혼합냉각기 내의 노즐배치 및 가스분사 방식 변화에 따른 혼합율 개선에 대한 전산해석적 연구
청정기술
2017 .03
반도체 습식 세정 장비에서 유동 현상 – 시뮬레이션을 중심으로
한국가시화정보학회 학술발표대회 논문집
2024 .05
에어제트를 이용한 웨이퍼 표면 입자 세정 효과에 대한 연구
대한기계학회 논문집 B권
2020 .09
Influences of Polyurethane Nozzle Shape on Mixing Efficiency
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2016 .01
매니폴드 노즐 형상변화가 웨이퍼 캐리어 내부 유동특성에 미치는 영향
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .12
Flow structure characteristics through the AI nozzle with varying design parameters
대한기계학회 춘추학술대회
2021 .11
스프레이 노즐을 활용한 저독성 접촉점화 추진제용 인젝터 설계 및 수류 시험
한국추진공학회 학술대회논문집
2023 .11
구조화된 표면을 가진 패드를 적용한 세정공정에서의 세정 효율 향상을 위한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .10
Wafer Plasma Bevel Cleaning 장비용 핵심부품 세정기술
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .05
Fabrication and Performance Tests of an Ultrasonic Cleaning System for Solar-cell Wafers
한국생산제조학회지
2019 .08
고도 보정용 확장-굴절(E-D) 노즐의 국외 연구 동향
한국항공우주학회지
2017 .10
횡단유동 조건에서 내부혼합형 이유체 노즐의 분무 및 이탈액적 특성 연구
한국가시화정보학회 학술발표대회 논문집
2024 .05
웨이퍼 베이킹 공정을 위한 패키징된 파워 단자의 전기-열 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .12
자동 도포 시스템 분사 노즐 위치 최적 선정에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2020 .11
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