메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
Hyunsung Lim (Kangwon National University) Jeeyoon Jeong (Kangwon National University)
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology Applied Science and Convergence Technology Vol.31 No.1
발행연도
2022.1
수록면
31 - 34 (4page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
Metasurfaces with high quality factor resonances can be fabricated by breaking the symmetry of the constituent resonators, thereby converting symmetry-protected dark states to quasi-bound states in the continuum. As the quality factor is inversely proportional to the degree of the asymmetry, high quality factor metasurfaces typically comprise fine-tuned resonators requiring state-of-the-art lithographic technologies to fabricate. In this study, a method is proposed to create quasi-bound states in the continuum in dielectric metasurfaces without high-resolution lithography. The results show that quasi-bound states in the continuum can be formed by introducing a non-vertical sidewall in an array of cube resonators, such that the resonator symmetry breaks in an out-of-plane direction. The proposed method enables fabrication by controlling the dry etching angle without extensive use of high-resolution lithography. Using full-wave electromagnetic simulations and multipole analyses, high quality factor resonances are observed in the proposed metasurface structure, the connections of which to the quasi-bound states in the continuum are clarified. Our work enables fabrication of high quality factor metasurfaces with low cost and high controllability, and is expected to greatly benefit the field of enhanced light-matter interactions in nanophotonics.
#Metasurface #Quasi-bound states in the continuum #Quality factor #Lithography #Cube resonators #Symmetry breaking

목차

ABSTRACT
1. Introduction
2. Methods
3. Results and discussion
4. Conclusions
References

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

Two-Photon Lithography 기술을 활용한 3D 마이크로 형상 제작
이준원 ,  이지선 ,  하철우 기계저널 2025 .03
딥러닝 기반 리소그래피 패턴 윤곽선 자동 추출 기법
김태연 ,  김도년 대한기계학회 춘추학술대회 2024 .11
멤스 미러를 이용한 고속 레이저 직접 리소그래피 시스템
조준희 ,  이원섭 ,  조현민 외 2명 한국기계가공학회지 2025 .01
첨단 반도체 EUV 리소그래피 기술과 국제안보 정세
전영민 TRADE&SECURITY 저널 2024 .12
초미세 나노구조체 패턴 제작을 위한 차세대 리소그래피 공정기술
전환진 진공이야기 2023 .06

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2022-420-000200062