지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
DBpia Top 10%동일한 주제분류 기준으로최근 2년간 이용수 순으로 정렬했을 때
해당 논문이 위치하는 상위 비율을 의미합니다.
초록· 키워드
오류제보하기
Among lithography process technologies that can be used on a laboratory scale with low equipment and process cost, Capillary Force Lithography(CFL) is attracting attention because it can produce ultrafine patterns using basic equipment and general polymer behavior. In addition, the recently developed Secondary Sputtering Lithography(SSL) is expected to grow into a next-generation lithography technology in the future as it can effectively produce 10 nm nanopatterns by applying a plasma process to the existing lithography process.
목차
서론
모세관힘 리소그래피(Capillary Force Lithography)
Secondary Sputtering Lithography: 10nm대의 초고분해능 패턴을 제작할 수 있는 Top-down 패터닝 기술
맺음말
References
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
양자소자 및 나노스케일 패턴 제작을 위한 E-beam Lithography 기술
물리학과 첨단기술
2024 .09
-
다층 나노임프린트 리소그래피 시스템 및 나노측정기술
진공이야기
2015 .03
-
Magnetic Nanostructures Fabricated by Thermal Nanoimprint Lithography
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2015 .05
-
Large-area single-crystal organic patterned thin films by vertically confined lateral crystal growth via capillary force lithography
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
-
Large area single crystal organic patterned thin films by vertically confined lateral crystal growth via capillary force lithography
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
-
Electrical/optical responses for potential sensing
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
-
Controlling the shape of micropatterns by single photomask lithography
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
-
저손상 식각 기술을 이용한 초미세 패턴의 식각 프로파일 향상에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
-
Automated atomically precise lithography over multiple length scales for complete nanodevice fabrication
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
-
나노임프린트 리소그래피 장비 및 공정 기술
진공이야기
2023 .06
-
SiO₂/ITO nanostructure fabricated by nano-lithography using self-arrayed colloid monolayer
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
-
나노 리소그래피에 의한 Ag 나노입자 어레이 제작과 ZnO 기반 UV 검출기의 광전류 증대 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
-
Holographic Recording Versus Holographic Lithography
Current Optics and Photonics
2023 .12
-
Preparation of photoresist-derived carbon micropatterns by proton ion beam lithography and pyrolysis
Carbon letters
2017 .01
-
Simulation Research on the Thermal Effects in Dipolar Illuminated Lithography
Current Optics and Photonics
2016 .04
-
Electron beam patterning with Vertically Aligned CNTs (C-beam) for next generation lithography
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
-
Neurons-on-a-Chip: In Vitro NeuroTools
Molecules and Cells
2022 .02
-
Magnetic difference with MoS₂ and Oxidized MoS₂ fabricated by Local chemical modification
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2021 .07
-
Novel photo-lithography process for fabrication of electronic devices based on 2D materials
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
-
Design and Fabrication of an Off-axis Elliptical Zone Plate in Visible Light
Current Optics and Photonics
2022 .02
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
Two-Photon Lithography 기술을 활용한 3D 마이크로 형상 제작
이준원
,
이지선
,
하철우
기계저널
2025
.03
증강현실을 이용한 고양이 육성 시뮬레이션에 대한 연구
김태은
디지털콘텐츠학회논문지
2023
.05
색(色)의 정치: 한국 정당과 정치인의 상징색 연대기
홍재우
Archives of Design Research
2023
.02
고령자의 심리적 요인을 고려한 키오스크 사용경험 개선 제안
정민경
,
유은
Archives of Design Research
2022
.08
최근 우리나라 도시 인구 변화에 따른 도시화 효과 특성
김진욱
,
변영화
,
김진원
외 1명
한국기후변화학회지
2021
.12
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0102-2023-420-001946267