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원종찬 (서강대학교) 원윤재 (서강대학교) 윤현근 (서강대학교) 이진욱 (서강대학교) 이학선 (서강대학교) 강성원 (서강대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2021년 학술대회
발행연도
2021.11
수록면
135 - 136 (2page)

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We perform resolved simulations and examined development and break-up of cleaning liquid over a rotating wafer. The effects of the rpm, flow rate, jet angle, diameter, and contact angle are examined. The effects of cleaning liquid are examined in several ways including the coverage, wall shear stress, application time. Instantan ... 전체 초록 보기
#웨이퍼(Wafer) #액막 (Liquid film) #분리현상(Break-up) #이상 유동(Two-phase flow) #커버리지(coverage)

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