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이재광 (한국전자기술연구원) 김래은 (한국전자기술연구원) 서정무 (한국전자기술연구원) 김봉석 (한국전자기술연구원)
저널정보
대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2021년도 대한전기학회 전기기기 및 에너지변환시스템부문회 정기총회 및 추계학술대회 논문집
발행연도
2021.11
수록면
137 - 138 (2page)

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본 논문은 반도체 공정 중 웨이퍼 이송장치에 사용되는 전자식 브레이크 설계에 관한 것이다. 반도체 제조의 기본 소재인 웨이퍼 이송용 로봇의 경우 5개 이상의 독립된 축이 필요하며, 작동 및 정지를 위해서는 전자식 브레이크가 필요하다.
본 논문에서 다루는 전자식 브레이크는 고정자에 하단에 위치한 영구자석에서 발생하는 자속을 통해 발생된 인력을 이용하여 정지력을 발생시킨다. 전자식 브레이크의 설 ... 전체 초록 보기

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다양한 노면 마찰계수를 고려한 전자 브레이크 Test Bench 평가 기술 개발
박지인 ,  전광기 ,  최성진 한국자동차공학회 추계학술대회 및 전시회 2012 .11

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