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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
권진구 (한국산업기술대학교) 전용민 (한국산업기술대학교 신소재공학과) 김지영 (한국산업기술대학교 신소재공학과) 이은별 (한국산업기술대학교 신소재공학과) 이성의 (한국산업기술대학교)
저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제33권 제5호
발행연도
2020.1
수록면
367 - 372 (6page)

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원자 자이로스코프용 vapor cell의 패키징 공정으로는 글라스의 Tip-off 공정, Anodic bonding, Paste sealing이 널리 연구되고 있으나, 고온공정에 따른 첨가 원소인 알칼리 금속의 변화 및 경시변화에 대한 안정성에 대한 이슈가 있다. 이 연구에서는 pyrex 재질의 cell에 Au를 증착하고 cell을 덮어줄 수 있는 cap에 Au-Sn 박막을 형성하여 Au/Au-Sn 계면간 레이저 조사를 통한 vapor cell의 저온 패키징 공정의 응용가능성에 대하여 연구하였다. XRD를 사용하여 박막 접합의 메커니즘을 설명하였고, cell에 Ne gas를 주입하여 플라즈마 방전으로 접합 신뢰성과 시간에 따른 gas 흐름성을 평가하였고, Rb 알칼리 금속을 주입하여 셀 내부에서 Rb 금속의 특성 색이 변화하지 않아 산화 없이 유지됨을 나타내었다.

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