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이강석 (한국해양대학교) 김경화 (한국해양대학교) 박정현 (한국해양대학교 전자소재공학과) 김소윤 (한국해양대학교) 이하영 (한국해양대학교) 안형수 (한국해양대학교) 이재학 (한국해양대학교) 전영태 (한국해양대학교) 양민 (한국해양대학교) 이삼녕 (한국해양대학교) 전인준 (부산대학교 나노에너지공학과 나노융합기술과) 조채용 (부산대학교 나노에너지공학과 나노융합기술과) 김석환 (안동대학교)
저널정보
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제31권 제3호
발행연도
2021.1
수록면
103 - 111 (9page)

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고체 재료인 Si, Al 그리고 Ga을 혼합하는 혼합소스 수소화물기상 방법에 의해 육각형 Si 결정을 성장하였다. 새로 고안된 상압의 혼합소스 수소화물기상 방법에서는 1200°C의 고온에서 GaCln, AlCln 그리고 SiCln 가스 사이의 상호작용에 의해 핵이 형성된다. 또한 Si과 HCl 가스의 급격한 반응에 의해 높은 분압을 가진 전구 기체를 발생시키는 구조로 설계 되었다. 주사 전자 현미경(FE-SEM), 에너지 분산형 X-선 분광법(EDS), 고해상도 X-선 회절(HR-XRD) 그리고 라만 스펙트럼을 통하여 육각형 Si 결정의 특성을 확인하였으며, Si 산업 분야에서 새로운 소재로서 응용성이 기대된다.

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