메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
최영중 (부산대학교) 송풍근 (부산대학교)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2021년도 한국표면공학회 춘계학술대회
발행연도
2021.6
수록면
136 - 136 (1page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

이 논문의 연구 히스토리 (6)

2021

이원용매 어닐링을 통한 높은 χ 값을 가지는 블록공중합체의 자기조립 유도
최영중 ,  송풍근 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2021.06 학술대회자료
Inducing self-assembly of block copolymers with high-χ by solvent-based annealing for advanced nanolithography applications
최영중 ,  송풍근 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2021.06 학술대회자료

2020

Controlled self-assembly of block copolymers with high-χ by solvent based annealing for advanced nanolithography applications
최영중 ,  송풍근 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2020.12 학술대회자료
Controlled morphology of high-χ block copolymers by using multi-step annealing
최영중 ,  서준호 ,  박성민 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2020.08 학술대회자료
Controlled self-assembly of block copolymers with high-χ by solvent based annealing for advanced nanolithography applications
최영중 ,  송풍근 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2020.06 학술대회자료

2016

Controlled self-assembly kinetics of high-χ block copolymers for nanolithography and nanodevice : 차세대 나노리소그래피와 나노장비를 위한 high-χ 블록공중합체의 자기조립속도 제어 연구
최영중 재료공 2016.01 학위논문

초록· 키워드

오류제보하기
가이딩을 통한 블록공중합체의 자기조립은 효율적으로 주기적인 5-50 nm 크기의 패턴을 형성할 수 있기 때문에 차세대 리소그리피를 대체할만한 기술로 많은 연구가 진행되었다. 하지만 높은 플로리-허긴스 상호작용 파라미터 (χ)를 가지는 블록공중합체의 경우 미세한 나노패턴을 만들 수 있으나, 자기조립 속도가 매우 느리다는 단점을 가지고 있다. 이러한 단점을 극복하기 위해서, 높은 χ값을 가지는 poly(styrene-b-dimethyl siloxane) (PS-b-PDMS) 블록공중합체에 이원용매를 이용한 어닐링 방법을 적용하였다. 이원용매의 경우, PS 블록에 친화적인 톨루엔 용매와 PDMS 블록에 친화적인 헵테인 용매를 사용하였으며, 이 두 용매가 블록공중합체의 자기조립 속 ... 전체 초록 보기

목차

등록된 정보가 없습니다.

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문과 함께 이용한 논문

프로그래밍 가능한 단접합 트랜지스터를 이용한 인공 뉴런 회로 및 인공신경망
성용우 ,  박은표 ,  조유연 외 6명 대한전자공학회 학술대회 2023 .06

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2021-581-001940696