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최승회 (재료연구소) 한명진 (재료연구소) 박다정 (재료연구소) 김태영 (재료연구소) 김재정 (재료연구소)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2021년도 한국표면공학회 춘계학술대회
발행연도
2021.6
수록면
78 - 78 (1page)

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구리 전해 도금은 반도체 소자, 인쇄회로기판, 전해동박 제조를 위한 핵심 단위 공정 중 하나이다. 도금액 내부에는 전착된 막의 특성 및 형상 제어를 위한 소량의 유기첨가제가 함유되어 있으며, 이들은 역할에 따라 가속제, 감속제, 레벨러 등으로 분류된다. 이러한 첨가제들은 도금 과정에서 화학적, 전기화학적 반응을 거쳐 분해되며, 이로 인해 비가역적인 액 열화가 수반된다. 때문에 첨가제 분해 메커니즘 규명, 첨가제 및 분해산물의 모니터링, 첨가제 분 ... 전체 초록 보기

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