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김대현 (한양대학교) 박재찬 (한양대학교) 박정우 (홍익대학교) 조덕용 (전북대학교) 김우희 (한양대학교) 송봉근 (홍익대학교) 안지훈 (한양대학교) 박태주 (한양대학교)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2021년도 한국표면공학회 춘계학술대회
발행연도
2021.6
수록면
75 - 75 (1page)

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2차원 구조를 갖는 단층의 전이금속 디칼코게나이드 화합물은 우수한 물성으로 인해 차세대 반도체 소자 및 광소자의 채널 물질로써 활용이 기대되는 물질이다. 실적용을 위해, 대면적에서의 성장을 적절하게 제어하고 고품질의 전이금속 디칼코게나이드 물질을 성장시키기 위한 신뢰성 있는 제조 방법의 개발이 필수적이다. 원자층 증착법 (atomic layer deposition, ALD)을 이용한 2차원 물질 성장은, 원자 단위의 층을 균일하게 형성할 수 있는 장점이 있지만 ALD 고유의 증착 특성으로 인해 완벽한 단층의 물질의 형성이 제한될 수 있다. 본 연구에서는 이러한 한계를 극복하기 위해 새로운 ALD 공정을 제시하였고 웨이퍼 스케일에서 균일한 단층의 MoS<SUB>2</SUB> 박막을 형성하 ... 전체 초록 보기

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