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자료유형
학술저널
저자정보
장수희 (한양대학교) 신재혁 (한양대학교) 박원일 (한양대학교)
저널정보
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제27권 제4호
발행연도
2020.1
수록면
119 - 125 (7page)

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1.1~2.1eV의 직접 천이형 밴드갭을 가지는 전이금속 칼코게나이드(Transition Metal Dichalcogenide, TMDC) 는 빛에 대한 반응성이 크고 구조적 특징상 2차원 물질들과의 수직 이종접합구조를 형성하기 용이하다는 장점으로 차세대 광전소자와 반도체소자 물질로서 대두되고 있다. 하지만 TMDC를 얻는 공정들의 한계로 인해 고품질, 대면적의 수직이종접합구조의 형성에 어려움이 존재한다. 본 연구에서는 MOCVD 시스템을 제작하고, 단일층 TMDC 및 이들의 이종구조에 제조에 대한 연구를 수행하였다. 특히, 버블러 타입의 유기금속화합물 소스를 활용하여, 반응기 내로 유입되는 소스의 농도와 유량을 정밀하게 조절함으로써 전면적으로 균일한 박막을 얻을 수 있다. MOCVD로 MoS2, WS2 박막을 성장시키고 주사전자현미경, UV-visible spectrophotometer, Raman spectroscopy, photoluminescence 분석을 진행하여 균일한 박막을 성장시켰음을 확인하였다. 또한, MoS2 박막에 WS2 박막을 직접 성장시킴으로써 MoS2/WS2 수직 이종접합구조를 형성하였다.
#TMDC #MOCVD #Vertical heterostructure #MoS2 #WS2 #two-dimensional material

목차

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S. H. Kim / 2020 / Fast synthesis of large-scale single-crystal graphene with well-defined edges upon sodium chloride addition / Carbon 158:904 google schola S. H. Kim / 2017 / Performance optimization in gatetunable Schottky junction solar cells with a light transparent and electric-field permeable graphene mesh on n-Si / Journal of Materials Chemistry C 5:3183 google schola J. H. Shin / 2018 / Direct CVD growth of graphene on three-dimensionally-shaped dielectric substrates / Carbon 129:785 google schola 방승완 / 2018 / 그래핀을 이용한 다공성 구리 전극의 전기화학적 이산화탄소 환원 능력 향상 / 마이크로전자 및 패키징학회지 25(4):105~109 dbpia 이재형 / 2020 / 나노 소재 기반의 전기장 투과 전극에 관한 연구동향 / 마이크로전자 및 패키징학회지 27(1):9~15 dbpia

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