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한국수소및신에너지학회 한국수소및신에너지학회논문집 한국수소에너지학회지 제5권 제2호
발행연도
1994.12
수록면
59 - 63 (5page)

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Thermally evaporated Pd films on substrate were hydrogenated upto 1 bar of hydrogen gas at room temperature. Thickness dependence on hydrogenation on Pd film is examined in the thickness range between 60A and 800A. Hydrogenation kinetics of thinner films(thinner than 500?) and that of thicker films are different. Thin film(thickness < 200A, substrate temp. = RT) showed recrystallization due to hydrogen induced heat. Hydrogen was absorbed by chemisorption process in a phase of thinner films, and diffusion process in ?` phase of thicker films respectively.

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