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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
이응기 (공주대학교 기계자동차공학부) 이동은 (공주대학교 대학원 기계공학과) 김숙한 (공주대학교 대학원 기계공학과)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 한국반도체및디스플레이장비학회 2006년도 춘계학술대회
발행연도
2006.1
수록면
156 - 159 (4page)

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In order to design an evaporation system, geometric simulation of film thickness distribution profile is required. In this paper, a geometric modeling algorithm is introduced for process simulation of the evaporating process. The physical fact of the evaporating process is modeled mathematically. Based on the developed method, the thickness of the thin-film layer can be successfully controlled.

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