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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제15권 제9호
발행연도
2002.1
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CoCr alloy thin films that have self-organized nano structure are promising for high-density information storage media in information era. We investigated the saturation magnetization (Ms), coercivity and remanence of the Co78Cr12-xPdx films by varying 0 ～ 5 wt% at the substrate temperatures of 30 ℃ and 200 ℃, respectively. Microstructure and Pd contents of the CoCrPd films are probed by a transmission electron microscope (TEM) and a energy dispersive spectroscopy (EDS). Ms of CoCr-3 %Pd film increased more than 50 % than that of CoCr at the substrate temperature of 200 ℃. Our results imply that Co-enriched phase is self-formed inside the grain as Pd selectively reacts with Cr near grain boundary, which leads to Ms enhancement. Such a self-organized nano structure (SONS) in CoCrPd magnetic thin films are appropriate to high-density recording of 100 Gbit/in2.
#self-organized nano structure #Co-Cr-Pd films #substrate temperature #Pd contents #sputtering

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