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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
김주호 (한양대학교) 정진욱 (한양대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2021년 한국진공학회 제60회 동계정기학술대회 초록집
발행연도
2021.2
수록면
121 - 121 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2021

이중주파수 유도결합 플라즈마에서 모드전이 연구
김주호 ,  정진욱 한국진공학회 학술발표회초록집 2021.02 학술대회자료

2020

공진 안테나를 사용한 유도 결합 플라즈마에서 고효율 플라즈마 발생 및 플라즈마 동역학 연구
김주호 ,  정진욱 한국진공학회 학술발표회초록집 2020.02 학술대회자료
공진 안테나 코일을 사용한 유도 결합 플라즈마에서 고효율 플라즈마 생성 연구
김주호 전기공학과 2020.01 학위논문

초록· 키워드

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본 연구에서는 이중 주파수 유도 결합 플라즈마에서 모드 전이가 연구되었다. 실험에서 RF전력이 증가함에 따라 capacitive mode에서 inductive mode로 전이가 관찰되었고, 이중주파수 동작에서 전이는 싱글 주파수의 경우와 ... 전체 초록 보기
#유도결합플라즈마 #이중주파수 #모드전이

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