스마트 진공펌프용 상태변수 측정모듈의 주요 성능과 확장성

정완섭; 백경민

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저자정보: 정완섭 (한국표준과학연구원) 백경민 (한국표준과학연구원)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 제50회 한국진공학회 동계정기학술대회 초록집

발행연도: 2016.2

수록면: 110 - 110 (1page)

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