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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
정완섭 (한국표준과학연구원)
저널정보
한국진공학회 진공이야기 진공이야기 제2권 제1호
발행연도
2015.3
수록면
31 - 34 (4page)

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This article introduces fundamentals of self-diagnosis and predictive (or preventive) maintenance technologies for dry vacuum pumps. The state variables of dry pumps are addressed, such as the pump and motor body temperatures, consumption currents of main and booster pumps, mechanical vibration, and exhaust pressure, etc. The adaptive parametric models of the state variables of the dry pump are exploited to provide dramatic reduction of data size and computation time for self-diagnosis. Two indicators, the Hotelling’s T2 and the sum of squares residuals (Q), are illustrated to be quite effective and successful in diagnosing dry pumps used in the semiconductor processes.

목차

I. 서론
II. 진공펌프의 상태변수
III. 상태진단 기법
IV. 상태진단 사례
V. 맺음말
References

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