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학술저널
저자정보
손덕수 (Korea University of Technology and Education) 동선희 (Korea University of Technology and Education) 이우영 (Korea University of Technology and Education)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국생산제조학회지 Vol.30 No.1
발행연도
2021.2
수록면
31 - 36 (6page)
DOI
10.7735/ksmte.2021.30.1.31

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In semiconductor manufacturing processes, the final inspection is a crucial last test stage for screening defective parts before delivery to customers. Since traditional convection-based temperature control has limitations and requires time for a solution, this study focuses on the development and verification of an automatic temperature control technology using conduction-based thermoelectric modules. From the performance tests, it is found that the module operates in the temperature range of –40℃ to 120℃, and all channels achieve temperature transitions at each step within 6 min. The temperature module shows accuracy variations of –0.8℃ to 1.9℃ over the entire stage, which fulfills the semiconductor industry requirement of within ±2℃ for inspection equipment.
#Thermoelectric module (TEM) #Semiconductor test equipment #Auto temperature control module #Temperature range #Temperature change time #Temperature precision

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 본론
3. 성능시험
4. 결론
References

참고문헌 (8)

참고문헌 신청
이광주 / 2010 / 반도체 검사 장비의 챔버 내부 온도 분포의 균일성 개선 / 한국산학기술학회논문지 11(10):3626~3632 dbpia Sweetland, M. / 2001 / Rapid IR Heating of Electronic Components in the Testing Cycle / Proceedings of 35th National Heat Transfer Conference google schola 조영태 / 2020 / 120 W급 LED 가로등 개발을 위한 열전반도체 이용 강제방열 / 한국생산제조학회지 29(4):281~287 dbpia 한재호 / 2019 / 30 W급 COB LED의 열전소자 이용 강제방열 / 한국생산제조학회지 28(4):218~223 dbpia 유성연 / 2004 / 열전소자 및 열전냉각장치의 성능에 관한 연구 / 설비공학 논문집 16(1):62~69 dbpia

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