[세션초청논문] Optimization of growth rate for Si in a planetary CVD reactor

Zahe ,  Ramadan ,  Ik-Tae Im 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2019 .11

Study on the Coupled Effects of Process Parameters on Silicon Growth Using Chemical Vapor Deposition

Ramadan ,  Zahe ,  Ko 외 3명

반도체디스플레이기술학회지

2019 .01

Numerical Modeling on Epitaxial Growth of Silicon in a Planetary CVD Reactor

Zahe ,  Ramadan ,  Ik-Tae Im

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .11

국내 학교 체육관의 실내 PM_2.5 저감을 위한 CFD 분석 연구

박동준 ,  강경모 ,  김태연

한국생태환경건축학회 학술발표대회 논문집

2021 .05

화학기상증착 코팅로의 용량에 따른 탄소 코팅 SiO_x의 물리적 특성 변화 분석

맹석주 ,  곽우진 ,  박헌수 외 2명

한국표면공학회지

2022 .12

그래핀 CVD 내 열기류 및 화학반응 해석

성기운 ,  김은화 ,  김태성

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .04

그래핀 CVD 내 열기류 및 화학반응 해석

성기운 ,  정현재 ,  김은화 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .05

Si 선택적 성장을 위한 대형 CVD 반응기 내의 열 및 유동해석

장연호 ,  고동국 ,  임익태

반도체디스플레이기술학회지

2016 .01

Numerical Simulation on Membrane Emulsification – Study the Effect of Process Parameters on Droplet Size

Nahid Hasan ,  Jophous Mugabi ,  Jae-Ho Jeong

한국유체기계학회 학술대회 논문집

2024 .07

Direct Chemical Vapor Deposition Growth of ReS2 on Graphene

서지형 ,  이정현 ,  박혜성

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2017 .10

Numerical Study on Flow and Heat Transfer in a CVD Reactor with Multiple Wafers

Jang ,  Yeon-Ho ,  Ko 외 3명

반도체디스플레이기술학회지

2018 .01

Substrate Temperature Dependence of Microcrystalline Silicon Thin Films by Combinatorial CVD Deposition

Yeonwon Kim

한국표면공학회지

2015 .06

CVD 응용 탄소막 코팅을 통한 표면에너지 제어와 이종 소재 간 흡착/혼합성 향상 연구

온민석 ,  김회민 ,  소민서 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2024 .07

Study of Cooling Rate on the Growth of Graphene via Chemical Vapor Deposition

서지형 ,  이정현 ,  장아랑 외 4명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2017 .04

반도체 CVD공정의 액체 precursor 배관 simulation에 관한 연구

정대창 ,  김태성

한국전산유체공학회 학술대회논문집

2023 .10

2024년 CFD 분야 연구동향 분석

지상진 ,  박성군

한국유체기계학회 논문집

2025 .04

Planetary 형 반응기에서 웨이퍼와 기판 사이의 틈새가 웨이퍼 온도에 미치는 영향에 대한 연구

정종완 ,  임익태

반도체디스플레이기술학회지

2017 .01

CFD를 이용한 테일러 반응기의 유동해석

배성민 ,  윤재룡 ,  김부성 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .04

Fabrication of gas phased polymerized layer for flexible moisture barrier via Initiated Chemical Vapor Deposition (i-CVD) process

Ji-Hoo SEOK ,  Sunghee KIM ,  Haiming ZHAO 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2016 .10

Surface Characteristics of CVD Graphene Transferred by Wet and Dry Transfer Methods

Min-Ah Yoon ,  Chan Kim ,  Jae-Hyun Kim 외 2명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2022 .10