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[세션초청논문] Optimization of growth rate for Si in a planetary CVD reactor
대한기계학회 춘추학술대회
2019 .11
Process optimization of silicon growth in a planetary CVD reactor using CFD-RSM combined method
대한기계학회 춘추학술대회
2020 .12
Si 선택적 성장을 위한 대형 CVD 반응기 내의 열 및 유동해석
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
Study on the Coupled Effects of Process Parameters on Silicon Growth Using Chemical Vapor Deposition
반도체디스플레이기술학회지
2019 .01
Effect of Milling Speed on the Structural and Magnetic Properties of Ni<sub>70</sub>Mn<sub>30</sub> Alloy Prepared by Planetary Ball Mill Method
한국재료학회지
2018 .01
화학기상증착 코팅로의 용량에 따른 탄소 코팅 SiOx의 물리적 특성 변화 분석
한국표면공학회지
2022 .12
Numerical Study on Flow and Heat Transfer in a CVD Reactor with Multiple Wafers
반도체디스플레이기술학회지
2018 .01
유성기어 감속기의 감속비에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2017 .10
Design Improvement for a Planetary Gear System in Hydraulic Drive System
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2016 .10
능동현수 시스템용 유성기어 감속기 효율에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2016 .04
자동변속기 유성기어 소음을 고려한 시스템 분석용 프로그램 개발 및 적용에 관한 연구
한국소음진동공학회논문집
2015 .07
캐리어의 핀홀 위치 오차가 유성기어의 하중 분할에 미치는 영향 분석
한국기계가공학회지
2016 .08
자동변속기 유성기어 세트의 나선각 방향에 따른 동력손실 해석에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2021 .11
실리콘 웨이퍼 폴리싱기계의 유성기어 위치 제어
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2021 .12
Integrated Process Sequence of Epitaxy Silicon Wafer Production Using Plasma-Enhanced CVD
AFORE
2023 .11
중형 풍력발전기 피치 드라이브의 유성기어 경량화에 관한 연구
동력시스템공학회지
2017 .02
회전익 항공기용 유성 기어박스 최적 sizing에 대한 연구
한국추진공학회 학술대회논문집
2022 .11
8톤급 유압윈치 시스템의 유성기어 감속기 설계에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2019 .10
Planetary 형 반응기에서 웨이퍼와 기판 사이의 틈새가 웨이퍼 온도에 미치는 영향에 대한 연구
반도체디스플레이기술학회지
2017 .01
유성기어 감속기 시스템의 설계 검증
한국자동차공학회 추계학술대회 및 전시회
2016 .11
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