Variation of Pad Temperature Distribution by Slurry Supply Conditions

최진욱 ,  정선호 ,  정경우 외 1명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2020 .12

산화막 CMP 공정 중 패드 그루브에 기반한 슬러리 유동과 온도 제어에 관한 연구

이정렬 ,  조영광 ,  서현민 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2021 .05

CMP 에서 스프레이 다중 노즐 시스템을 통한 패드의 균일한 온도 분포의 효과

이기훈 ,  이다솔 ,  정선호 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .05

세리아 슬러리의 분사 두께 분포가 산화막 CMP에 미치는 영향

이다솔 ,  이현섭 ,  정경우 외 2명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2019 .10

Cu CMP에서 슬러리 온도가 연마율에 미치는 영향

박인호 ,  이다솔 ,  이종우 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

슬러리와 산소 가스의 비율 조절을 통한 실시간 CMP 온도제어

이다솔 ,  이기훈 ,  정선호 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .10

연마온도 제어에 따른 패드 물성 변화가 Cu CMP 성능에 미치는 영향

이다솔 ,  정해도 ,  이현섭 외 1명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2018 .10

CMP 공정에서 슬러리 분사 주입에 따른 슬러리 막 형성에 관한 연구

허성녕 ,  정선호 ,  정호경 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2021 .11

Effect of Slurry Flow in Spray Slurry Nozzle System on Cu CMP

이다솔 ,  정선호 ,  이종우 외 2명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2017 .02

Effects of Temperature on Removal Rate in Cu CMP

In-Ho Pa ,  k ,  Da-Sol Lee 외 2명

한국기계가공학회지

2018 .12

열 전달 특성에 기인한 패드 온도 편차 모델링

최진욱 ,  정선호 ,  정경우 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .10

슬러리 소비 감소를 위한 CMP 분위기 제어를 이용한 슬러리 미스트 개발

이다솔 ,  정선호 ,  김현진 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .05

다층구조의 CMP 슬러리 여과용 필터 제조 특성 연구

채효정

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2021 .12

The improvement of tungsten CMP performance by controlling slurry temperature

Wenxing Xue ,  Sanghuck Jeon ,  Taesung Kim

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .11

Design a Slurry Constant Temperature Module for Semiconductor CMP Processing using Experimental Design

S. K. Hwang ,  H. N. Lee

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .10

Slurry Temperature Effect on Copper CMP

Pengzhan Liu ,  SungHoon Bae ,  Seokjun Hong 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2021 .05

구리 후막용 CMP 슬러리의 환경 영향 평가

이현섭

한국트라이볼로지학회 학술대회

2016 .10

CMP 공정에서 슬러리 분산 안정성 향상을 위한 첨가제 적용 및 최적화 연구

정희숙

한국에너지기후변화학회 학술대회

2024 .11

마찰 온도가 연마 패드의 브레이크 인에 미치는 영향

정경우 ,  정선호 ,  최진욱 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2020 .09

SiO₂ CMP 에서 스프레이 슬러리 노즐 효과에 대한 연구

조호성 ,  정해도

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2020 .09