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서동국 (충남대학교) 김시준 (충남대학교) 이장재 (충남대학교) 이영석 (충남대학교) 조철희 (충남대학교) 이상호 (충남대학교) 성인호 (충남대학교) 정원녕 (충남대학교) 유신재 (충남대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2020년 한국진공학회 (제59회 하계정기학술대회 초록집)
발행연도
2020.8
수록면
96 - 96 (1page)

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2020

전자기 시뮬레이션을 이용한 임피던스 매칭 장치 내 RF 전력 측정 최적 위치에 관한 연구
서동국 ,  김시준 ,  이장재 외 6명 한국진공학회 학술발표회초록집 2020.08 학술대회자료
전자기 시뮬레이션을 이용한 임피던스 매칭 장치내 RF 전력 측정 최적 위치에 관한 연구
서동국 ,  김시준 ,  이장재 외 7명 한국진공학회 학술발표회초록집 2020.02 학술대회자료

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#플라즈마 #전자기 시뮬레이션 #전류 전압 센서 #플라즈마 모니터링

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