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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2020.10
- 수록면
- 412 - 418 (7page)
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논문은 에칭액FeCl₃)의 비중을 정확히 제어할 수 있는 자동 액 관리시스템을 제작하여 OLED에 적용되는 SUS MASK 제작하였다. 그리고 홀 직경을 0.4 mm로 목표치를 정하였다. 본 실혐 결과, FeCl₃의 비중(S.G) 값을 1.43에서 1.49까지 변화를 주었을때 에칭 속도는 빨라졌다. 그리고 비중이 1.49일 때, 홀직경이 0.405 mm로의 목표치에 접근한 것을 알 수가 있었다. 압력분사를 2.0 kg/㎠~3.5 kg/cm2까지 변화를 주었을 때 3.0 kg/㎠에서 홀직경은 평균 0.4 mm로 목표치와 일치하였다. FeCl₃에 HCl과 H₂O을 혼합하여 비중을 1.430으로 설정하고 분사 압력을 3.0 kg/㎠으로 고정시키고 첨가제를 1.2%로 적용하여 비중 변화에 따른 특성을 분석하였다. 비중을 1.460 ~ 1.469까지 변화주었을 때 비중이 증가할수록 에칭속도는 0.564에서 0.540으로 빨라졌다. 그리고 비중이 1.467일 때 홀 직경이 0.4 mm로 측정되어 목표치에 도달하였다.
목차
요약
Abstract
1. 서론
2. 이론적 배경
3. 실험 및 결과
4. 결론
REFERENCES
참고문헌 (10)
참고문헌 신청
김대원 / 2017 / 염화철 에칭 용액 재생을 위한 액상 및 고상 산화제를 이용한 산화공정에 대한 연구 / Clean Technology 23(2):158~162
W. S. Choi / 2017 / Vibration-Assisted Femtosec ond Laser Drilling with Controllable Taper A ngles for AMOLED Fine Metal Mask Fabricat ion / Materials 10:212~220
Y. Ito / 2016 / Precision cutting of glass by laser-a ssisted machining / Procedia Manuf 7:240~245
M. R. Park / 2007 / Separation of Iron and Nickel from He avily Concentrated Aqueous / Clean Tech 13(4):274~280
M. M. Heravi / 2009 / Fe(ClO4)3· 6H2O : A mild an d efficient catalyst for one-pot three compo nent synthesis of β-acetamido carbonyl com pounds under solvent–free conditions / Mole cular Diversity 13(3):375~378
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