공진초음파분광법을 이용한 스퍼터링타겟 접합불량 검사 타당성 연구

지봉규; 박재하; 조승현

doi:10.7779/JKSNT.2020.40.5.311

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자료유형: 학술저널

저자정보: 지봉규 (과학기술연합대학원대학교) 박재하 (센시스코) 조승현 (과학기술연합대학원대학교)

저널정보: 한국비파괴검사학회 비파괴검사학회지 비파괴검사학회지 제40권 제5호

발행연도: 2020.10

수록면: 311 - 317 (7page)

DOI: 10.7779/JKSNT.2020.40.5.311

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스퍼터링타겟은 반도체 및 디스플레이 제조에 많이 활용되는 스퍼터링 공정의 원료와 전극역할을 하는 후면판을 접합시킨 것으로써, 타겟 재료와 후면판의 접합상태 불량은 제품의 품질이나 공정 효율에 많은 영향을 미치므로 엄격한 접합품질의 사전 검사가 요구된다. 기존 대부분의 스퍼터링타겟의 검사는 수침초음파스캔 방법을 이용하여 검사를 수행하였으나, 최근 디스플레이 공정에 많이 사용되는 재료중 물에 반응하는 IGZO(Indium Gallium Zinc Oxide)계열의 타겟의 경우 수침 검사가 어려워서 적절한 검사 수행의 어려움이 있었다. 본 연구에서는 전자기음향트랜스듀서(EMAT, electromagnetic acoustic transducer)와 초음파공진분광 기법을 이용하여 물과 접촉 없이 스퍼터링타겟의 접합불량을 검사하는 방법을 제안하고자한다. 이를 위해서 대상이 되는 스퍼터링타겟 시편의 검사에 적합한 EMAT을 제작하고 접합면의 공진분광 특성을 스캔하여 접합불량을 검사하였다. 측정결과 폭 1 mm 이상의 접합 손상부를 검출하였으며, 제안한 방법의 스퍼터링타겟 접합불량 검사 가능성을 확인하였다.

#스퍼터링타겟 #접합불량 #전자기음향트랜스듀서 #공진초음파 분광법 #Sputtering Target #Bonding Defect #Electromagnetic Acoustic Transducer(EMAT) #Resonance Ultrasonic Spectroscopy(RUS)

참고문헌 (15)

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H. Hosono / 2006 / Ionic amorphous oxide semiconductors : Material design, carrier transport, and device application / Journal of Non-Crystalline Solids 352(9-20):851~858

F. Bouchard / 1995 / Method of non-destructively testing a sputtering target / U.S. Patent No. 5,406,850

R. B. Thompson / 1990 / Physical principles of measurements with EMAT transducers / Physical acoustics 19:157~200

W. Johnson / 1998 / Ultrasonic damping in pure aluminum at elevated temperatures / Journal of applied physics 83(5):2462~2468

W. Johnson / 1997 / Force measurement using vibrational spectroscopy / Review of scientific instruments 68(1):102~108

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