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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2004 춘계학술대회 논문집
발행연도
2004.4
수록면
524 - 529 (6page)

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Recently High precision positioning device is used in many kinds of manufacturing and scientific insruments. Piezoelectric tranduser is applied to the positioning devive as actuator. PZT has a high resolution, however, moving range is short. Many researcher have developed the mechanism for increasing a motion range. The types of increasing motion range mechanism with PZT are inertial slider, friction driver, ultrasonic motor, etc. In this paper we discuss the review of the high precision actuctor mechanism with PZT. Many kinds of mechanism for high precision are shown and compared.

목차

Abstract
1. 서론
2. PZT를 이용한 구동 방식
3. 결론
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