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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
안강호 (한양대학교 기계공학과) 김용민 ([주]현대교정인증기술원) 윤진욱 ([주]현대교정인증기술원) 권용택 ([주]현대교정인증기술원)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 한국반도체및디스플레이장비학회 2006년도 춘계학술대회
발행연도
2006.1
수록면
255 - 258 (4page)

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In this paper, the new method which is monitoring quantity of particles using by ion-counter has been developed. ISPM system is composed by Gerdien type ion-counter (house-made), DC power supply and electrometer. Ion-counter applied positive voltage could detect only positive charged particles. Therefore charged particles to Boltzmann equilibrium distribution or to some identified charge distribution can be detected by ion-counter. Ion-counter could install on the exhaust line of process equipment since pressure loss is structurally low. ISPM system has been certified by comparison with the result of SMPS (Scanning Mobility Particle Sizer) system. The relation coefficiency is above 0.98 about $20{\sim}300nm$ particles with identified charge distribution under $0.1{\sim}10.0$ Torr.

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