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저자정보
최인호 (전북대학교 기계시스템공학과) 뎀베레바마라 (전북대학교 기계시스템공학과) 제야쿠마르폴마단 (전북대학교 기계시스템공학과) 최석현 (전북대학교 기계시스템공학과) 김준호 (전북대학교 기계시스템공학과) 백병준 (전북대학교 기계시스템공학과) 김대석 (전북대학교 기계시스템공학과)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체디스플레이기술학회지 반도체디스플레이기술학회지 제17권 제3호
발행연도
2018.1
수록면
70 - 74 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2023

일체형 편광간섭계 기반 다이나믹 분광타원계측기의 편광위상 계측성능 향상 연구
최인호 2023.01 학위논문

2021

일체형 간섭계 기반 타원계측기의 온도 상관성 분석 및 정밀도 향상 연구
최인호 ,  헤리저데헌거흐 사이드 ,  최석현 외 3명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2021.07 학술대회자료

2018

간섭계 기반 다이나믹 분광타원편광 시스템의 핵심설계 인자 분석
최인호 기계시스템공학과 2018.01 학위논문
간섭기반 스냅샷 분광편광위상측정의 열 안정성 분석
최인호 ,  뎀베레바마라 ,  제야쿠마르폴마단 외 4명 반도체디스플레이기술학회지 2018.01 학술저널

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In typical spectroscopic ellipsometry, the optical and geometrical properties of thin film and nano pattern can be obtained by measuring the polarization state of light reflected/transmitted from the object by rotating a analyzer or a compensator. We proposed a snapshot spectroscopic ellipsometric system based on a modified Michelson interferometer to overcome the time-consuring measurement principle due to rotating part. The proposed system provides spectral ellipsometric parameters (psi, delta) in real time by using a single spectral interference signal generated in the interferometric polarization module. However, it has a long-term stability problem resulting in delta(k) drift. In this paper, it is experimentally proved that the drift problem is caused by anisotropic refractive index change of the beam intersection layer in beam splitter of interferometer.
#Spectroscopic ellipsometry #Interferometric polarization modulation #Temperature dependency

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X. Niu / 2001 / Specular Spectroscopic Scatterometry / IEEE Trans. Semi. Manu 14:97~111 google schola W. Yang / 2002 / Line-profile and critical dimension measurements using a normal incidence optical metrology system / Advanced Semiconductor Manufacturing IEEE/SEMI Conference and Workshop :119~124 google schola Y. -N. Kim / 2009 / Device based in-chip critical dimension and overlay metrology / Opt. Exp 17(23):21336~21343 google schola Matthias Wurm / 2010 / A new flexible scatterometer for critical dimension metrology / Review of Scientific Instruments 81(2):023701 Crossref Huard S. / 1997 / Polarization of Light / Wiley google schola

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