일체형 편광간섭계 기반 다이나믹 분광타원계측기의 편광위상 계측성능 향상 연구 :Performance enhancement of dynamic spectroscopic ellipsometry employing a monolithic polarizing interferometric module

최인호

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자료유형: 학위논문

저자정보: 최인호 (전북대학교, 전북대학교 일반대학원)

지도교수: 김대석

발행연도: 2023

저작권: 전북대학교 논문은 저작권에 의해 보호받습니다.

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2023

일체형 편광간섭계 기반 다이나믹 분광타원계측기의 편광위상 계측성능 향상 연구

최인호 2023.01 학위논문

2021

일체형 간섭계 기반 타원계측기의 온도 상관성 분석 및 정밀도 향상 연구

최인호 , 헤리저데헌거흐 사이드 , 최석현 외 3명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2021.07 학술대회자료

2018

간섭계 기반 다이나믹 분광타원편광 시스템의 핵심설계 인자 분석

최인호 기계시스템공학과 2018.01 학위논문

간섭기반 스냅샷 분광편광위상측정의 열 안정성 분석

최인호 , 뎀베레바마라 , 제야쿠마르폴마단 외 4명 반도체디스플레이기술학회지 2018.01 학술저널

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We describes a performance enhancement of dynamic spectroscopic ellipsometry employing a monolithic polarizing interferometric module. Our research team conducts research on spectroscopic ellipsometric measurement technology based on an MPI that can provide high-speed measurement solutions differentiated from typical spectroscopic ellipsometry. We develop a high-precision measurement system employing a compensation channel to dramatically improve the phase instability problem caused by temperature dependence. In addition, a theoretical model based on the Jones matrix that can perform accurate signal analysis on the birefringent material measurement of the proposed system is designed. This model analyzes phase accuracy errors due to changes in the alignment of optical elements and provides a way to improve phase accuracy.

#Dynamic spectroscopic ellipsometer #Monolithic polarizing interferometric module #phase #precision #accuracy

1. 서론 1
1.1 연구 배경 1
1.2 연구 목표 4
2. 배경 이론 5
2.1 분광타원계측기술의 배경 이론 5
2.2 전자기파의 파동방정식 8
2.3 편광 상태의 표현(존스 및 스톡스 벡터) 11
3. 스냅샷 일체형 편광간섭계 기반 실시간 분광 타원 계측기 16
3.1 스냅샷 일체형 편광간섭계 기반 실시간 분광 타원 계측기의 구성도 17
3.2 스냅샷 일체형 편광간섭계 기반 실시간 분광 타원 계측기의 이론 및 신호처리 19
3.3 스냅샷 일체형 편광간섭계 기반 실시간 분광 타원 계측기의 위상() 측정 알고리즘 26
4. 스냅샷 일체형 편광간섭계 기반 실시간 분광 타원 계측기의 편광위상 계측성능 향상 연구 29
4.1 스냅샷 일체형 편광간섭계 기반 실시간 분광 타원 계측기의 편광위상 측정 안정성 향상 연구 29
4.1.1 일체형 편광간섭계 기반 고정밀 실시간 분광 타원 계측기의 시스템 구성도 30
4.1.2 일체형 편광간섭계 기반 고정밀 실시간 분광 타원 계측기의 이론 및 편광위상 측정 알고리즘 32
4.1.3 일체형 편광간섭계 기반 고정밀 실시간 분광 타원 계측기의 분광 편광위상 측정 안정성 실험 및 결과 37
4.2 스냅샷 일체형 편광간섭계 기반 실시간 분광 타원 계측기의 편광위상 측정 정확도 향상 연구 44
4.2.1 측정 시료 45
4.2.1.1 광학적 이방성 시료의 이론 45
4.2.1.2 Quarter wave plate simulation 49
4.2.2 제안된 시스템의 분광 간섭 신호 시뮬레이션 절차 및 분석 56
4.2.3 존스 행렬을 이용한 광학 소자 모델링 및 시뮬레이션 조건 66
4.2.4 제안된 시스템의 위상() 정확성 저하 인자 및 검출 시뮬레이션 결과 70
4.2.4.1 Polarization state generator(PSG) 70
4.2.4.2 MPI 내의 편광 상태 변조를 위한 편광자(P1) 73
4.2.4.3 분석자(A) 76
4.2.4.4 무 편광 빔 분리기(B) 79
4.2.4.5 무 편광 빔 분리기의 복굴절 성분을 고려한 편광위상 보정방법 82
5. 결론 84
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