평판디스플레이용 유리의 박판화공정을 위한 비불산형 식각액

이철태

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이철태 (단국대학교 화학공학과)

저널정보: 한국공업화학회 공업화학 공업화학 제27권 제1호

발행연도: 2016.1

수록면: 101 - 109 (9page)

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기존의 불산을 대체할 수 있는 평판디스플레이용 유리의 식각용액을 개발하고자 진행하였다. 본 연구과정을 통해 제안된 불산 대체 유리 식각용액은 산성불화암모늄 18~19 wt%, 황산 24~25 wt%, 물 45~46 wt%, 황산염 4~5 wt%, 규불화염 7~8 wt%로 구성되며, 사용된 식각용액의 재사용 시 보충용액으로서 해당조성의 식각용액을 전체의 5% 되게 보충함으로서 효과적으로 지속적으로 재사용이 가능하다. 개발된 식각용액은 $30^{\circ}C$에서 $5{\mu}m/min$ 이상의 식각속도를 나타내며, 반복 재사용 시에도 초기 식각액 전체 질량의 5% 추가로 보충함으로서 식각속도는 $0.1{\mu}m/min$ 이하로 편차로 식각속도가 안정적으로 유지되었다. 이 식각공정을 통해 얻어진 평판디스플레이용의 유리의 표면 상태는 Pin hole, Dimple 등이 발견되지 않는 양호한 품질을 나타내었다.

#non-hydrogen fluoride #etching #glass slimming #flat pannel disply

참고문헌 (10)

참고문헌 신청

변지영 / 2008 / HF-HCl 혼합 용액에서 EAGLE2000TM LCD 유리의 식각에 관한 연구 / 마이크로전자 및 패키징학회지 15(3):41~46

S. H. Cho / 2005 / Observation of Growth Behavior of Induced Hillock for Nano/Micro Patterning on Surface of Borosilicate with Etching Time and Load / Proceedings of the Korean Society for Technology of Plasticy Autumn Conference

H. T. Kim / 2009 / Glass Thinning by Fluoride Based Compounds Solution with Low Hydrofluoric acid Concentration

Techno Semichem Corporation / 2005 / Etching Composition for LCD Glass, KOR Patent 0052475

R. A. Bellman / 2005 / Chemical Durability of EAGLE XG™ in LCD Dry Etch Processes

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