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학술저널
저자정보
오부국 (포항공과대학교 기계공학과) 정영대 (포항공과대학교 기계공학과) 김남성 (Department of Mechanical Engineering Pohang University of Science and Technology) 김동식 (EO Technics Co., Ltd.)
저널정보
한국레이저가공학회 한국레이저가공학회지 한국레이저가공학회지 제12권 제1호
발행연도
2009.1
수록면
7 - 13 (7page)

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Engineering ceramics as sapphire are widely used in industry owing to their superior mechanical and corrosion properties. However, micromachining of sapphire is a considerable challenge due to its transparency. Recently, direct ablation of sapphire has been demonstrated with a visible laser pulse at sufficiently high laser intensity. In this work, the theoretical model for pulsed laser ablation of sapphire is suggested and numerical analysis is carried out using the model. Sapphire ablation begins with plasma generation by the laser interaction with surface defects, impurities and contaminations in the initial stage of machining. Subsequent absorption of the visible laser beam can be explained by three mechanisms: metalization of sapphire surface due to the EUV radiation from the hot plasma, increments of surface roughness and temperature-dependent absorption coefficient. Comparison of the computation results with experimental observation indicates that the proposed model of sapphire is reasonable.
#Micromachining #Nd:YAG laser #pulsed laser ablation #sapphire

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