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학술저널
저자정보
Kim, Jin-Yeol (Department of Chemistry, College of Natural Science, Hanyang Univ.) Kim, Eung-Ryeol (Department of Chemistry, College of Natural Science, Hanyang Univ.) Lee, Jae-Ho (Saehan Industries Inc., R&D Center) Kim, Soon-Sik (Saehan Industries Inc., R&D Center)
저널정보
한국정보디스플레이학회 Journal of information display Journal of information display 제2권 제1호
발행연도
2001.1
수록면
38 - 42 (5page)

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Thin films of $In_2O_3-SnO_2$(ITO), $SnO_2$, and $SiO_2$ were prepared on the PET substrate by DC magnetron roll sputtering. 135 nm thick ITO film on $SiO_2$/PET substrate has sheet resistance as low as 55 ${\Omega}/square$ and transmittance as high as 85%. $H_2O$gas permeation through the film was 0.35 g/$m^2$ in a day. These properties are enough on optical film for the plastic LCD substrate or touch panel. Both refractive index and sheet resistance of ITO was found to be very sensitive to $O_2$ flow rate. Oxygen flow conditions have been optimized from 4 to 5 SCCM at $10^{-3}$torr. It is also shown that both thickness of $SnO_2$ and refractive index of $SiO_2$ decrease as $O_2$ flow rate increases.
#Indium tin oxide #$In_2O_3-SnO_2$ #ITO) $SnO_2$ $SiO_2$ #thin film #roll sputtering #conductive layer

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