DC magnetron sputtering 방법으로 형성한 Indium-Tin-Oxide(ITO) 박막의 특성 연구

안명환

한국정보통신학회논문지

2006 .03

DC마그네트론 스퍼터링법으로 PET 기판위에 저온 증착한 ITO박막의 비저항과 굽힘 저항성에 대한 RF인가의 영향

박미랑 ,  이성훈 ,  김도근 외 2명

한국표면공학회지

2008 .10

Properties of Ag/ITO film deposited using the DC magnetron sputtering

Min-Seung Choi ,  Dong-Ho Kim ,  Pung-Keun Song

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

RF/DC 동시인가 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착된 ITO 박막의 열처리 특성 연구

문진욱 ,  김동원

한국표면공학회지

2007 .06

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 면저항분석

박문찬 ,  오정홍 ,  김남영 외 1명

한국안광학회지

1999 .06

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 XPS 분석

박문찬 ,  오정홍 ,  황보창권

한국안광학회지

1998 .12

DC/RF 중첩형 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 증착한 ITO 초박막의 SnO₂ 함량에 따른 물성 변화

강세원 ,  이현준 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .05

DC Magnetron Sputtering에 의해 증착된 알루미늄 박막의 특성

표재확 ,  연충규 ,  황기웅

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .11

Mechanical Properties of TiN Films Deposited with Magnetron Sputtering

Min-A Song ,  Ji-Hoon Yang ,  Jae-Hun Jung 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 고온 내구성 InSbO₄ 박막의 물성 평가

이현준 ,  조상현 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .05

고주파 마그네트론 스퍼터링 방법으로 제작한 ITO 박막의 표면형태 및 전기적 특성

권성열

센서학회지

2006 .01

Properties of ITO (Indium Tin Oxide) Thin Films Prepared by Magnetron Sputtering Using DC and Pulse Modes

Hwang ,  Man-Soo ,  Lee 외 7명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2002 .01

마그네트론 스퍼터링법을 이용한 Indium-Tin Oxide 박막의 제작과 그 특성에 관한 연구

조길호 ,  김여중 ,  김성종 외 2명

Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)

2000 .11

RF magnetron sputtering에 의해 제조된 ITO 박막의 특성 및 열처리에 의한 특성 변화

김도균 ,  곽순종 ,  송광호

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2008 .04

ITO thin film electrode deposition on plastic substrates by DC magnetron sputtering

이종걸 ,  이선영 ,  김성수

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2008 .04

RF Magnetron Sputtering에 의한 $(Ba_{0.5}, Sr_{0.5})Tio_3$박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤손길

한국재료학회지

1994 .01

RF magnetron sputtering에 의한 $(Ba_{1-x},Sr_{x})TiO_{3}$ 박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

Al thin films of high density deposited with magnetron sputtering

Ji Hoon Yang ,  Jae-Hun Jung ,  Min-A Song 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

Indium tin oxide films grown on polymer substrate by a low-frequency magnetron sputtering method

Jung ,  Sang-Kooun ,  Kim 외 13명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2004 .01