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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
이재호 (한양대학교 응용물리학과) 방경윤 (한양대학교 응용물리학과) 박준택 (한양대학교 응용물리학과) 오혜근 (한양대학교 응용물리학과) 안일신 (한양대학교 응용물리학과)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체장비학회지 한국반도체장비학회지 제2권 제2호
발행연도
2003.1
수록면
1 - 4 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2003

Rotating Compensator Spectroscopic Ellipsometer의 개발 및 응용
이재호 ,  방경윤 ,  박준택 외 2명 한국반도체장비학회지 2003.01 학술저널

2002

Rotating Compensator Spectroscopic Ellipsometry의 개발 및 응용
이재호 ,  방경윤 ,  박준택 외 2명 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2002.01 학술대회자료

초록· 키워드

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We have developed a rotating compensator spectroscopic ellipsometer (RCSE). As the ellipsometry measures a change in the polarization state of a light wave upon non-normal reflection from surface, the degree of sensitivity is enhanced greatly through the detection of relative phase change. RCSE acquires additional information from the non-ideal surface of sample and operates over the photon energy range from 1.5 to 4.5 eV. We applied RCSE to measure the optical properties of films and the line-width of patterned PR films on crystalline silicon.
#Spectroscopic Ellipsometry #Effective Medium Theory #Line-and-Space #Composite Thin Film

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