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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김현준 (경기대학교 첨단산업공학부 화학공학)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체및디스플레이장비학회지 반도체및디스플레이장비학회지 제5권 제3호
발행연도
2006.1
수록면
17 - 21 (5page)

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The oxygen barrier films were formed on poly(ethylene terephthalate) (PET) substrate by a sol-gel process using aminoalkoxysilanes. The coating layers were characterized by FT-IR and SEM. The oxygen permeability coefficients of coating films were measured by variable volume method, and then the influences of solvent ratio in sol and film drying temperature on the oxygen barrier properties were investigated. The aminoalkoxysilane coating films exhibited much higher oxygen barrier properties than PET film. The oxygen permeability coefficient of the film coated with each of APTEOS and APTMOS was measured to be $2.96{\times}10^{-6}$ and $3.05{\times}10^{-5}\;GPU$, respectively, while that of PET film was $1.16{\times}10^{-4}\;GPU$.

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