다공성 SiC-Si 복합체의 전기비저항에 미치는 Si 첨가량의 영향

전신희 ,  이원주 ,  공영민

한국재료학회지

2015 .01

비정질 p-SiC/i-Si/n-Si 박막 태양전지의 특성에 대한 i-SiC 완충층의 영향

신혁재 ,  김현철 ,  이재신

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

HMDS 단일 전구체를 이용한 다결정 3C-SiC 박막 성장

정귀상 ,  김강산 ,  한기봉

전기전자재료학회논문지

2007 .01

The Growth Mechanism of 3C-SiC ( 111 ) Thin Film on si ( 111 ) Substrate

Y. H. Seo ,  K. S. Nahm ,  Y. H. Lee 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

비정질 p-SiC/i-SiC/i-Si/n-Si 박막 태양전지에서 i-SiC 완충층의 역할

김현철 ,  신혁재 ,  이재신

한국재료학회지

1999 .01

Si(100) 기판 위에 성장된 3C-SiC 박막의 물리적 특성

정귀상 ,  정연식 ,  Shigehi 외 1명

전기전자재료학회논문지

2002 .01

In-situ 도핑된 M/NEMS용 다결정 3C-SiC 박막의 특성

김강산 ,  정귀상

센서학회지

2008 .01

Chemical structure evolution of low dielectric constant SiOCH films during plasma enhanced plasma chemical vapor deposition and post-annealing procedures

Xu ,  Jun ,  Choi 외 1명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2002 .01

Growth and Characterization of a-Si :H and a-SiC:H Thin Films Grown by RF-PECVD

Y. T. Kim ,  S. J. Suh ,  D. H. Yoon 외 8명

한국표면공학회지

2001 .10

Preparation of A-SiC : H Films Using Si2H6 and C2H4 by Direct Photo Chemical Vapor Deposition Method and Their Application to Thin-Film Light-Emitting Diode

Jong Wook Lee ,  Koeng Sun Lim

대한전자공학회 학술대회

1995 .11

CVD에 의한 M/NEMS용 다결정 3C-SiC 박막 성장

정귀상 ,  김강산 ,  정준호

센서학회지

2007 .01

Radiation Damage Effect on Si and SiC Detectors

박세환 ,  김한수 ,  이승욱 외 2명

대한방사선방어학회 학술발표회

2011 .01

Si(100)기판상에 3C-SiC결정성장

정연식 ,  정귀상 ,  Shigehi 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .07

A Study on the Deposition of a-Si : H Films for High Photoconductivity

Moon Sang Kang ,  Yong Seo Koo ,  Chul An

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01