Structure and Property Analysis of Nanoporous Low Dielectric Constant SiCOH Thin Films

허규용 ,  이문호 ,  이시우 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

도데칸술폰이 삽입된 금속 화합물, [M(H₂O)₆](C₁₂H₂₉SO₃)₂ㆍxH₂O(M＝Co, Cu)의 층상 구조의 열적 성질

허영덕 ,  박성훈 ,  전태현

한국표면공학회지

2000 .01

Nanoporous SiCOH Dual Phase Films with Low Dielectric Constant, Excellent Thermal and Mechanical Properties

박종민 ,  공병선 ,  정희태

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2012 .10

Microporous SiCOH Thin Films with Low Dielectric Constants and high Young’s Modulus

박종민 ,  공병선 ,  정희태

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2011 .10

Nanopore Generation in Low Dielectric Organosilicate and SiCOH Thin Films

Kyuyoung Heo ,  Jinhwan Yoon ,  Kyeong Sik Jin 외 5명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2006 .10

Surface characterization of ultra low-k SiCOH films in inductively coupled fluorocarbon plasmas

Hoonbae Kim ,  Haegyu Jang ,  Donggeun Jung 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

Enhanced mechanical properties of SiCOH/mesoporous SiO₂ ultralow dielectric films

박종민 ,  공병선 ,  김경환 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2013 .04

Structural Analysis of Nanoporous Low-Dielectric Constant SICOH Films using Organosilane Precursors

허규용 ,  박성규 ,  윤진환 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2007 .04

Characterization of Nanoporous Low-Dielectric Constant SiCOH Film using Organosilane precursors

Kyuyoung Heo ,  Jinhwan Yoon ,  Sung-Gyu Pa 외 6명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2006 .10

XH-59A 동축반전 회전익기 모델링 및 성능 해석

김도형

한국항공우주학회 학술발표회 초록집

2016 .11

RPECVD에 의한 저온 규소 산화막의 특성

강진규 ,  김수구 ,  이시우

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

Passivation Application of the RPECVD Si3N4 Films with Improved Electrical Properties

김경환 ,  손명규 ,  이재학 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Deposition of Silicon Films at Low Temperature with Remote Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition ( RPECVD )

Sung Woo Lee ,  Shi Woo Rhee

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

리모트 플라즈마 원자층 증착 기술 및 high-k 응용

Jeon ,  Hyeong-Tag ,  Kim 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2010 .01

유도결합 플라즈마 화학 기상 증착법을 이용한 cubic boron nitride 박막 증착에 관한 연구

남경희 ,  이승훈 ,  홍승찬 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .10