The Analysis of Mechanical Behaviors of Low Dielectric Organosilicate Films

김수한 ,  주상현 ,  차국헌 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2001 .10

Structure and Property Analysis of Nanoporous Low Dielectric Constant SiCOH Thin Films

허규용 ,  이문호 ,  이시우 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

A STUDY ON NANOPORE TEMPLATING IN ORGANOSILICATE TfflN FILM WITH LOW DIELECTRIC CONSTANT

이준구 ,  주상현 ,  차국헌

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2000 .10

Microporous SiCOH Thin Films with Low Dielectric Constants and high Young’s Modulus

박종민 ,  공병선 ,  정희태

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2011 .10

Structure characterization of nanoporous organosilicate thin films with Low dielectric constant

이창진 ,  차국헌 ,  이준구 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2001 .10

The Effects of NH₃Plasma Treatment on the Density Profile of Low Dielectric Organosilicate Films

김수한 ,  주상현 ,  차국헌 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2002 .04

Nanoporous SiCOH Dual Phase Films with Low Dielectric Constant, Excellent Thermal and Mechanical Properties

박종민 ,  공병선 ,  정희태

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2012 .10

The Effects of NH₃ Plasma Treatment on Micromechanical Characteristics of Low Dielectric Organosilicate Films

김수한 ,  주상현 ,  차국헌

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2001 .04

Organosilicate Glass Dielectrics for High Performance FPD Applications

Choi ,  Dong-Kyu ,  Amako 외 7명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2005 .01

Structural Analysis of Nanoporous Low-Dielectric Constant SICOH Films using Organosilane Precursors

허규용 ,  박성규 ,  윤진환 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2007 .04

Characterization of Nanoporous Low-Dielectric Constant SiCOH Film using Organosilane precursors

Kyuyoung Heo ,  Jinhwan Yoon ,  Sung-Gyu Pa 외 6명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2006 .10

Enhanced mechanical properties of SiCOH/mesoporous SiO₂ ultralow dielectric films

박종민 ,  공병선 ,  김경환 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2013 .04

Effect of porogen structure on nanoporous organosilicate thin film with Low dielectric constant

이준구 ,  주상현 ,  이몽섭 외 5명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2001 .04

4-Channel Nanopore Fabrication using Controlled Dielectric Breakdown

Yeonji Oh ,  Jonggi Hong ,  Hosung Kang 외 1명

대한전자공학회 학술대회

2019 .11

Polymers in Nanopores

신규순

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2007 .10

From flat thin films to curved nanopores

신규순

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2008 .04

Surface characterization of ultra low-k SiCOH films in inductively coupled fluorocarbon plasmas

Hoonbae Kim ,  Haegyu Jang ,  Donggeun Jung 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

Porous Low Dielectric Organosilicates Employing Thermally Labile Substituents

김운천 ,  윤선영 ,  김형은 외 7명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2002 .04

Effect of Porosities on the Mechanical Properties of Nanoporous Organosilicate Thin Films

김수한 ,  차국헌 ,  한준희 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2006 .04