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저자정보
진용욱 (한국과학기술원) 강상원 (한국과학기술원)
저널정보
대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 2007년도 추계학술대회 논문집Ⅱ
발행연도
2007.11
수록면
411 - 412 (2page)

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ZnO 박막의 증착 온도에 따른 결정성과 전기적 특성의 변화를 살펴보기 위해 기판 온도를 250℃에서 350℃까지 변화시켜가며 SiO₂ 기판 위에서 O₂ 가스를 이용한 ALD 방법을 통해 ZnO 박막을 증착하였다. 기판 온도가 25℃에서 300℃인 구간에서는 기판 온도가 증가함에 따라 증착량이 소량 증가하였고 그에 반해 비저항은 감소하는 것을 볼 수 있었다. 이러한 비저항의 감소는 ZnO 박막의 결정성 증가 때문이라고 볼 수 있다. 300℃에서 증착 ... 전체 초록 보기
#ZnO #ALD #electrical properties

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