Magnetron Sputtering법에 의해 증착한 MoS₂ 박막의 고진공하에서의 트라이블로지적 특성 ( Tribological characteristics of sputtered MoS₂ films with Magnetron Sputtering Method in High Vacuum )

안찬욱; 김석삼; 이상로

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 안찬욱 김석삼 이상로

저널정보: 한국트라이볼로지학회 한국트라이볼로지학회 학술대회 한국윤활학회 학술대회 제32권

발행연도: 2000.11

수록면: 406 - 413 (8page)

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