ECR PECVD법을 이용한 PLZT박막 제조

신중식 ,  노광수 ,  천성순 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

ECR-PECVD 방법으로 제작된 a-C:H 박막의 결합구조에 관한 연구

손영호 ,  박형국 ,  정재인 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1999 .10

ECR-PECVD법으로 증착된 $Al_{2}O_3$ 절연 박막의 특성에 관한 연구

이재균 ,  전병혁 ,  이원종

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

ECR-PECVD와 RF-PECVD법에 의해 증착된 TiN박막의 특성 비교

전병혁 ,  김종석 ,  이응직 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

ECR PECVD에 의한 상온 실리콘 질화막 형성 및 박막 트랜지스터에의 응용 ( Room Temperature Fabrication of Silicon Nitride Films by ECR PECVD and its Application to Thin Film Transistors )

전유찬 ,  이호영 ,  주승기

대한전자공학회 학술대회

1992 .11

ECR-PECVD방법으로 중착된 탄탈릅 산화박막의 전기적 성질에 미치는 증착변수의 영향

조복원 ,  김종석 ,  김일 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

RF-PECVD법과 ECR-PECVD법에 의해 증착된 TiN 박막의 물성에 관한 비교 연구

김종석 ,  전병혁 ,  이응직 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

투명 PLZT 세라믹의 전기적 및 광 메모리 특성

朴昌燁 ,  鄭益寀 ,  朴泰坤

전기학회논문지

1987 .07

ECR-PECVD 방법으로 증착한 Diamond-Like carbon 박막의 광 특성

김대년 ,  김기홍 ,  김혜동

한국안광학회지

2004 .11

상온에서 ECR PECVD에 의해 형성된 실리콘 산화질화막의 전기적 특성

이호영 ,  전유찬 ,  주승기

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

메모리 영역 내에서 제작된 PLZT 소자의 전기적 특성 및 광투과도에 관한 연구

이영희 ,  최원택 ,  윤용혁

대한전기학회 학술대회 논문집

1983 .07

메모리 영역내에서 제작된 PLZT 소자의 전기적특성 및 광투과도에 관한 연구

李永熙 ,  崔源澤

전기학회논문지

1984 .04

산소와 질소분위기에서 열처리된 ECR-PECVD 탄탈륨 산화막의 전기적 성질 연구

김일 ,  김종석 ,  안성덕 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

9/65/35 PLZT 박막의 유전적, 전기적 특성

강종윤 ,  최형욱 ,  백동수 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .07

X/65/35 PLZT 강유전 박막의 전기 및 광학 특성에 관한 연구

허운행 ,  최형욱 ,  백동수 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .11

비휘발성 메모리 소자를 위한 PLZT (x/30/70) 박막에 대한 La 농도변화의 효과

김성진 ,  윤영섭

대한전자공학회 학술대회

2000 .06

ECR-PECVD $Ta_{2}O_{5}$ 증착시 형성되는 $SiO_2$에 관한 연구

안성덕 ,  김일 ,  김종석 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

PLD 법으로 제작된 PLZT 박막의 산소압에 따른 구조 및 전기적 특성

장낙원

Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)

2006 .11

La 농도에 따른 PLZT(x/30/70) 박막의 피로 특성에 관한 연구

강성준 ,  정윤근 ,  정양희

한국정보통신학회논문지

2005 .08