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Lee, Seok-Woo (LG. Philips LCD R&D Center) Kang, Ho-Chul (LG. Philips LCD R&D Center) Yang, Joon-Young (LG. Philips LCD R&D Center) Kim, Eu-Gene (LG. Philips LCD R&D Center) Kim, Sang-Hyun (LG. Philips LCD R&D Center) Lim, Kyoung-Moon (LG. Philips LCD R&D Center) Kim, Chang-Dong (LG. Philips LCD R&D Center) Chung, In-Jae (LG. Philips LCD R&D Center)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2004년도 Asia Display / IMID 04
발행연도
2004.1
수록면
1,254 - 1,257 (4page)

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Comparative study on the effects of $H_2$ vs. $O_2$ plasma pretreatment of gate oxide on the degradation phenomenon of p-channel low-temperature polysilicon (LTPS) thin-film transistors (TFTs) were performed. After high drain current stress (HDCS) with $V_{gs}$ = $V_{ds}$, the p-channel TFTs pretreated by $O_2$ plasma showed increased immunity to the degradation of device characteristics such as threshold voltage and maximum field effect mobility because of the higher binding energy of Si-O bond than that of Si-H bond. The investigation of degradation phenomenon of these parameters with the applied power suggests that self-heating can be the major cause of degradation of polysilicon TFTs.

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