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논문 기본 정보

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학술대회자료
저자정보
오현철 (한국기술교육대학교 신소재공학과) 구은주 (한국기술교육대학교 신소재공학과) 김영철 (한국기술교육대학교 신소재공학과) 서화일 (한국기술교육대학교 정보기술공학부)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 한국반도체및디스플레이장비학회 2006년도 춘계학술대회
발행연도
2006.1
수록면
216 - 220 (5page)

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평면 광 신호 분리기와 광 케이블의 정밀결합을 위하여 V-groove를 제작하였다. V-groove 는 실리콘웨이퍼 (100) 면을 KOH 용액으로 선택적 습식 식각하여 제작되었다. V-groove 를 효과적으로 제작하기 위하여 KOH 의 조성 (10, 20, 30, 33, 40 wt%)과 온도 (50, 60, 70, $80^{\circ}C$)를 변화시켜 식각률과 표면조도를 측정하였다. 식각률은 $80^{\circ}C$에서 20 wt.% KOH 로 식각했을 경우 $1.84{\mu}m/min$ 로 가장 빨랐으며, 표면조도는 $80^{\circ}C$에서 33 wt.% KOH로 식각했을 경우 1.6nm로 가장 양호하였다.

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