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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
손성완 (알엠에스테크놀러지[주]) 김강부 (알엠에스테크놀러지[주]) 전종균 (선문대학교 기계공학부)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 한국반도체및디스플레이장비학회 2004년도 춘계학술대회 발표 논문집
발행연도
2004.1
수록면
195 - 201 (7page)

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2004

차세대 반도체, TFT-LCD Fab 구조설계를 위한 PC형 격자보에 대한 동적 특성 평가 및 개선방안
손성완 ,  김강부 ,  전종균 한국소음진동공학회 학술대회논문집 2004.05 학술대회자료
초정밀 반도체 및 TFT-LCD FAB 동적 구조 설계를 위한 PC형 격자보 구조물의 동적 특성 평가 및 개선 방안
손성완 ,  김강부 ,  전종균 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2004.01 학술대회자료

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In design stage of high precision manufacture/inspect ion FAB building, it is necessary to investigate the vibration allowable limits of high precision equipment and to study a structure dynamic characteristics of C/R and Sub-structure in order to provide a structure vibration environment to satisfy thess allowable limits. The aim of this study is to investigate the dynamic characteristics of PC-Type mock-up structures designed for next TFT LCD FAB through vibration measurement and analysis procedure, therefore, to provide a proper dynamic structure design for high precision manufacture/inspection work process, which satisfy thess allowable limits.

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