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학술저널
저자정보
金暎昊 (삼성전자) 李知炯 (성균관대학교) 宣東錫 (삼성전자)
저널정보
대한전기학회 전기학회논문지 전기학회논문지 제57권 제4호
발행연도
2008.4
수록면
692 - 699 (8page)

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Semiconductor research and development (R&D) fabs are very different than production fabs in many ways such as the scales of production, job priority, production methods, and performance measures. Efficient operations of R&D fabs are very important to the development of new product, process stability, high yield, and ultimately company competitiveness. This paper proposes the fab-wide scheduling method for operational optimization of the R&D fabs. Most scheduling systems of semiconductor fabs have only focused on maximizing throughput of each separated areas without considering WIP(works in process) flows of entire fab. In this paper, we proposes the a fab-wide scheduling system which schedules all lots to entire fab equipment at once. We develop the MIP(mixed integer programing) model which allocates the lots to production equipment considering many constraints of all processes and the CP(constraint programming) model which determines the sequences of the lots in the production equipment. The proposed FAB-wide scheduling model is applied to the newly constructed R&D fab. As a result, we have accomplished the system based automated job reservation, decrease of the hot lot delay, increase of the queue time satisfaction, the high throughput by maximizing the batch sizes, decrease of the WIP TAT(Tum Around Time).
#FAB-wide scheduler #Hot lot #Batch size #System based tracking #Queue time constraint

목차

Abstract
1. 서론
2. 연구라인의 스케줄링 특성
3. FAB-wide 스케줄링 방법
4. 시스템 구현
5. 스케줄링 성능 평가 및 적용 결과
6. 결론
참고문헌
저자소개

참고문헌 (6)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - Lee, K.H. / 1995 / Production Scheduling in Semiconductor Wafer Fabrication Process / Journal of the Korean Institute of Industrial Engineers 21 : 357 ~ 469 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - Lee, Y.H. / 2002 / Experimental Study on Input and Bottleneck Scheduling for a Semiconductor Fabrication Line / IIE Transactions 34 : 179 ~ 190 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - Leachman, R.C. / 2002 / SLIM: Short Cycle Time and Low Inventory in Manufacturing at Samsung Electronics / Interface 32 (1) : 61 ~ 77 google schola 4. [학술대회논문] - Choung, Y.I. / / Design of a Scheduling System for Diffusion Process / International Conference on Semiconductor Manufacturing Operational Modeling and Simulation google schola 5. [학술대회논문] - Ham, M.S. / 2006 / Dynamic Wet-Furnace Dispatching/Scheduling in Wafer Fab / The 17th Annual SEMI/IEEE Advanced Semiconductor Manufacturing Conference google schola

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