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한국소음진동공학회 한국소음진동공학회논문집 한국소음진동공학회논문집 제17권 제8호
발행연도
2007.8
수록면
726 - 735 (10page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2007

TFT-LCD 생산공장 내 유틸리티 가동으로 인한 정밀장비 과도진동 현상 및 평가
백재호 ,  이홍기 ,  손성완 외 1명 한국소음진동공학회논문집 2007.08 학술저널
TFT-LCD 생산공장 내 유틸리티 가동으로 인한 정밀장비 과도진동 현상 및 평가
백재호 ,  이홍기 ,  손성완 외 1명 한국소음진동공학회 학술대회논문집 2007.03 학술대회자료

초록· 키워드

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Inside the factory buildings of aprecision industry (which produces semiconductors or TFT-LCD), thousands of vibration-sensitive precision equipments operate in the clean rooms. Various utility equipments that are installed around them for proper operation cause various sources of noise and of vibration to exist inside the clean rooms and thus deteriorate the noise and the vibration environment within. In this study, we check if the existing transient vibration phenomenon is caused by the vibrations that arise from operating the utility installed near these equipments; compare and evaluate the vibration criteria of precision equipments regarding the transient vibration phenomenon; and check the efficiency of these criteria.
#격자보 #동강성허용규제치 #제진대 #진동허용규제치 #청정실 #Clean Room #Dynamic Stiffness Criteria #Pad #Sub-structure #Vibration Criteria

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1. [단행본] - Amick, H. / 2005 / Semiconductor Manufacturing Handbook / Mcgraw-hill : 39.1 ~ 39.2 google schola 2. [학술대회논문] - Gendreau, M. / 1999 / Environmental Noise Control for Semiconductor Manufacturing Facilities / Proceedings of Internoise 99 google schola 3. [학술대회논문] - Baek, J.-H. / 2006 / A Study on the of Influence to Precision Equipment by Utility Vibration of TFT-LCD Fab / Proceedings of the KSNVE Annual Spring Conference : 886 ~ 892 google schola 4. [학술대회논문] - Gordon, C. G. / 1996 / Vibration Prediction and Control in Microelectronics Facilities / Proceedings of Internoise : 149 ~ 154 google schola 5. [기타자료] - B&k, Inc / / Pulse Manual / B&k, Inc google schola

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