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한국소음진동공학회 한국소음진동공학회 학술대회논문집 한국소음진동공학회 2004년도 춘계학술대회논문집
발행연도
2004.5
수록면
237 - 242 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2004

차세대 반도체, TFT-LCD Fab 구조설계를 위한 PC형 격자보에 대한 동적 특성 평가 및 개선방안
손성완 ,  김강부 ,  전종균 한국소음진동공학회 학술대회논문집 2004.05 학술대회자료
초정밀 반도체 및 TFT-LCD FAB 동적 구조 설계를 위한 PC형 격자보 구조물의 동적 특성 평가 및 개선 방안
손성완 ,  김강부 ,  전종균 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2004.01 학술대회자료

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목차

ABSTRACT
1. 개요
2. Mock-up 구조물 동적 실험 및 해석
3. Mock-up 구조 변경에 따른 동적해석
4. 차세대 구조물 동적 특성 평가 및 개선방안
5. 결론
참고문헌

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