GaN계 질화합물 반도체의 습식식각 연구

유관기 ,  이성대 ,  이일형 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .06

GaN계 질화합물 반도체의 습식식각 연구 ( Studies on Chemical Wet Etching of GaN )

윤관기 ,  이성대 ,  이일형 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1998 .07

평판형 유도 결합 플라즈마를 이용한 GaN 건식 식각 특성

김문영 ,  김태현 ,  장상훈 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .11

GaN 식각 mask로 Fe₂O₃의 응용에 관한 연구

성연준 ,  박준용 ,  이용혁 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1999 .05

GaN 박막의 ICP 식각후의 광특성

한윤봉 ,  최창선 ,  임연호 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2000 .01

GaN 청색 레이저 소자 제조를 위한 Cr/Si$O_{2}$ 식각 mask 제조

김현수 ,  이재원 ,  유명철 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

습식식각 방법으로 제작한 패턴 형성 사파이어 기판을 가지는 GaN계 청색 LED

김도형 ,  이용곤 ,  유순재

전기전자재료학회논문지

2011 .01

TEM을 이용한 저온성장된 GaN박막의 결함분석

손광석 ,  김동규 ,  조형균

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

유도 결합형 Cl₂계 플라즈마를 이용한 GaN 식각 특성에 관한 연구

김현수 ,  이재원 ,  김태일 외 1명

한국표면공학회지

1999 .04

$Cl_2$-ICP를 이용한 Doped GaN 식각의 공정변수적 연구

임연호 ,  조범철 ,  박진수 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

GaN, InGaN/GaN 에피층의 광펌핑에 의한 자극방출 특성

나선용 ,  이형규 ,  이장우

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

Gan , InGaN / GaN 에피층의 광펌핑에 의한 자극방출 특성 ( Stimulated Emission from Optically Pumped GaN , InGaN / GaN Epilayers )

나선용 ,  이형규 ,  이장우

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

반도체 제조용 식각기술

한국발명진흥회

발명특허

2005 .01

고종횡비 실리콘 트랜치 건식식각 공정에 관한 연구

함동은 ,  신수범 ,  안진호

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

평판 유도 결합형 CH₄/H₂/Ar 플라즈마를 이용한 GaN 건식 식각 특성

金文永 ,  白榮植 ,  太興植 외 3명

전기학회논문지 C

1999 .09

고밀도 플라즈마를 이용한 contact hole 식각에서 공정 변수에 따른 식각 특성

김관하 ,  김창일

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .07

유도결합 플라즈마를 이용한 GaN 및 InP의 건식 식각에 관한 연구

정석용 ,  박철희 ,  김성대 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

Relative Absorption Edges of GaN/InGaN/GaN Single Quantum Wells and InGaN/GaN Heterostructures by Metalorganic Chemical Vapor Deposition

김제원 ,  손창식 ,  장영근 외 3명

한국재료학회지

1999 .01

자화 유도 결합형 CH₄/H₂/Ar 플라즈마를 이용한 GaN 건식 식각 특성

金文永 ,  沈鍾庚 ,  太興植 외 4명

전기학회논문지 C

2000 .04

p-GaN/AlGaN/GaN E-mode FET 제작을 위한 선택적 GaN 식각 공정 개발

Won-Ho Jang ,  Ho-Young Cha

한국정보통신학회논문지

2020 .02