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논문 기본 정보

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학술대회자료
저자정보
박성국 (포항산업과학연구원) 노유미 (포항산업과학연구원) 이상길 (포항산업과학연구원) 김주엽 (포항산업과학연구원) 신창훈 (대일개발[주]) 안재우 (대진대학교)
저널정보
한국자원리싸이클링학회 한국자원리싸이클링학회 학술발표대회 한국자원리싸이클링학회 2006년도 춘계임시총회 및 제27회 학술발표대회
발행연도
2006.1
수록면
90 - 94 (5page)

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액정(LCD)과 반도체 제조공정에서 발생하는 인산, 질산, 초산, Al, Mo 등이 혼재하고 있는 인산계 혼산폐액을 액정제조공정에서 사용할 수 있는 고순도 에칭액으로 재활용하기 위해서 용매추출법, 진공 증발법, 확산투석법 및 이온교환법의 각각의 기술적 특성을 살린 혼합 처리공정을 이용하여 고순도 인산 회수 기술을 확립하고 상용화 시스템을 개발하고자 하였다. 시험 결과 진공증발에 의해 질산과 초산을 100% 제거할 수 있었고, TOP를 사용한 용매추출에서도 추출 4단, 탈거 6단, 상비 1/3으로 완벽하게 제거할 수 있었다. 이온교환의 전단계로 적용한 확산투석에서 Al 97%, Mo 75% 제거할 수 있었고 이온교환공정에서 Al 및 Mo를 각각 1ppm 이하로 정제할 수 있었다.

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