Characteristic of Ru Thin Film Deposited by ALD

Jingyu Pa ,  k ,  Heeyoung Jeon 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .08

Effect of plasma pre-treatment on Cu nucleation on atomic layer deposited Ru during metal organic chemical vapor deposition

김선일 ,  문학기 ,  김진성 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Epitaxial $SnO_2$ Thin Films on Sapphire($1\bar{1}02$) and ($11\bar{2}0$) Deposited by Atomic Layer Deposition

Kim ,  Dai-Hong ,  Hong 외 1명

한국결정학회 학술연구발표회

2007 .01

Phase Transition and Magnetic Transport Properties for Single Crystal of (Ca_0.42Sr_0.58)₃Ru₂O₇

Qing Ji ,  Ming Fu ,  Jianjian Ge 외 4명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2008 .12

UV-enhanced Atomic Layer Deposition of Al2O3 Thin Film

윤관혁 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

UV - enhanced Atomic Layer Deposition(ALD) of TiO₂Thin Films

권용준 ,  장영진 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .08

Atomic Layer Deposition of Ruthenium Thin Film from Ru (cymene) (1,5-hexadiene) and O2

정효준 ,  정은애 ,  한정환 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

Study of SrTiO₃ for Dielectric Thin Films Grown by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition

임찬중 ,  임동혁 ,  마진원 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Atomic Layer Deposited Metal Thin Films on T-shirts

Han-Bo-Ram Lee

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

The observation on the secondary nucleation and growth of diamond film deposited on Si(001)

박노길 ,  박형국 ,  정재인 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

Characteristic analysis of HfO2 thin films deposited at low-temperature using direct plasma-enhanced atomic layer deposition

김경문 ,  윤순길 ,  정낙관

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Room Temperature Deposition of ZrO₂ thin film by using UV - enhanced Atomic Layer Deposition

강문철 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .02

Electrical Properties of Copper Oxide Thin Films Deposited by Atomic Layer Deposition

Byung Kook Lee ,  Jae Ki Min ,  Sun Sook Lee 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

Deposition and characterization of inorganic thin films by using UV-enhanced Atomic Layer Deposition

정진원 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Particle Coating by Atomic Layer Deposition of Ru and RuO₂

윤재홍 ,  이영학 ,  이재광 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

Dielectric Characteristics of Al₂O₃ Thin Films Deposited by Reactive Sputtering

Jae Hoon Choi ,  Joo Dong Pa ,  k 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

Effect of Surface Roughness on the Formation of Low Resistance Ni-Silicide from Atomic Layer Deposited Nickel Film

방진배 ,  강희성 ,  하종봉 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

Fabrication of Conductive ZnO Thin Filn Using UV-Enhanced Atomic Layer Deposition

양다솜 ,  김홍범 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

Controlled growth of atomic layer deposited Molybdenum based thin film using a novel nitrogen and sulfur containing precursor

Yujin JANG ,  Mi ,  ang BYEON 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08